康寧今(1)日推出 Corning EXTREME ULE Glass,可承受最高強度的極紫外光(EUV)黃光製程技術,包括高數值孔徑(High NA)EUV,這項技術正迅速成為產業標準;EUV 黃光製程技術允許製造商使用最先進的光罩來對最小、最複雜的晶片設計進行圖案化和印刷;該製程需要極高的熱穩定性和均質的玻璃材料,以確保製造效能一致。
「隨著人工智慧的興起,對於積體晶片製造的需求日益增長,玻璃技術的創新比以往任何時候都更加重要。」康寧先進光學副總裁暨總經理 Claude Echahamian 說道:「康寧的 EXTREME ULE Glass 將有助於實現更高功率的 EUV 製造和更高的良率,在追求摩爾定律中擴大康寧所扮演的積極角色。」
EXTREME ULE Glass 的熱膨脹特性有助於在所有光罩中提供卓越的一致性和效能。此外,玻璃出色的平整度和均質性大幅降低了光罩波度(waviness),有助於製造商控制不必要的變因,並幫助高階鍍膜的應用。
EXTREME ULE Glass 標誌著康寧超低膨脹(ULE)玻璃產品組合的進化,ULE 是一種二氧化鈦矽酸鹽玻璃材料,具有接近零的膨脹特性,長期以來一直用於 EUV 光罩和反射鏡。透過使用其創新的玻璃成型製程,康寧預期減少生產過程中使用的能源和產生的廢棄物,有助於為康寧的永續發展承諾做出貢獻。